hig.sePublikationer
Ändra sökning
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard-cite-them-right
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • sv-SE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • de-DE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf
Determination of interface roughness cross correlation of thin films from spectroscopic light scattering measurements
Department of Technology, Uppsala University, Uppsala, Sweden.ORCID-id: 0000-0003-2887-049X
1997 (Engelska)Ingår i: Journal of Applied Physics, ISSN 0021-8979, E-ISSN 1089-7550, Vol. 81, nr 8, s. 3627-3636Artikel i tidskrift (Refereegranskat) Published
Abstract [en]

Diffuse reflectance and transmittance spectra collected in different scattering angle intervals have been analyzed in order to determine the interface roughness cross correlation of thin films. Different angle intervals correspond to different roughness length scales; the cross correlation as a function of length scale can hence be determined. Sputter deposited ZrO2 films were analyzed. The transition from correlated to uncorrelated film interfaces was found to occur at longer length scales, when the film thickness increased.

Ort, förlag, år, upplaga, sidor
1997. Vol. 81, nr 8, s. 3627-3636
Nationell ämneskategori
Fysik
Identifikatorer
URN: urn:nbn:se:hig:diva-23231ISI: A1997WV36300043Scopus ID: 2-s2.0-0342619549OAI: oai:DiVA.org:hig-23231DiVA, id: diva2:1062915
Anmärkning

cited By 7

Tillgänglig från: 2017-01-09 Skapad: 2017-01-05 Senast uppdaterad: 2018-03-13Bibliografiskt granskad

Open Access i DiVA

Fulltext saknas i DiVA

Scopus

Personposter BETA

Rönnow, Daniel

Sök vidare i DiVA

Av författaren/redaktören
Rönnow, Daniel
I samma tidskrift
Journal of Applied Physics
Fysik

Sök vidare utanför DiVA

GoogleGoogle Scholar

urn-nbn

Altmetricpoäng

urn-nbn
Totalt: 160 träffar
RefereraExporteraLänk till posten
Permanent länk

Direktlänk
Referera
Referensformat
  • apa
  • harvard-cite-them-right
  • ieee
  • modern-language-association-8th-edition
  • vancouver
  • Annat format
Fler format
Språk
  • sv-SE
  • en-GB
  • en-US
  • fi-FI
  • nn-NO
  • nn-NB
  • de-DE
  • Annat språk
Fler språk
Utmatningsformat
  • html
  • text
  • asciidoc
  • rtf